DIY RF Kobling Plasma

Atomer består af en positivt ladet kerne omgivet af en sky af negativt ladede elektroner. Sommetider atomer kan vinde eller tabe elektroner , hvilket fører til dem at erhverve en netto positiv eller negativ ladning. Et atom med en nettoladning er kendt som en ion . Plasma er en sky af ioner , og disse kan have en række anvendelser i halvledende forarbejdningsindustrien. En plasma kan produceres inde i en Argon fyldt vakuumkammer ved hjælp af en strømforsyning , der genererer radiofrekvens (RF) radiation.Things du har brug
RF vakuumkammer med Argon massestrømsstyreenhed
Rotary pumpe hoteltilbud Turbo pumpe
RF strømforsyning
RF matchende netværk
2 RF-kabler myHotelVideo.com: Vis mere Instruktioner
1

Tænd roterende pumpe og vente trykket til komme til 10 ^ -3 millibar . Tænd turbo pumpe , og vent til det at rampe op . Vent, indtil et tryk på ca 10 ^ -6 millibar er nået.
2

Tilslut et RF -kabel mellem RF matchende enhed og RF- strømforsyning. Tilslut et andet kabel mellem RF matchende enhed, og RF vakuumkammer elektrode stik.
3

Delvist tæt ventilen til turbo pumpe . Tænd Argon massestrømmen controller, og sæt et tryk på 15 millibar . Tænd for RF strømforsyning og matchende enhed. Sæt en fremadrettet effekt på 50 watt . Den matchende enhed høres som den forsøger at minimere den reflekterede RF-effekt . Når den reflekterede effekt er mindre end 1 procent af den fremadgående effekt , øge den fremadgående strøm til cirka 150 watt. Plasmaet i kammeret skal lyse , og være synlige , selvom kammeret visning- port. Langsomt sænke frem magten tilbage til 50 watt . RF par plasma er oprettet.
Hoteltilbud