Placer silicium substrat på spin - coater borepatron . Vælg en centrifugeringshastighed på 3000 rpm , og et spin på 2 minutter. Placer et par dråber S1813 på underlaget og starte spinning .
2
Tænd den varme plade og sæt den til 110 grader Celsius ( 230 grader Fahrenheit ) . Vent varmepladen har nået den indstillede punkt temperatur. Anbring prøven på den varme plade i 2 minutter. Fjern prøven og lad den køle af.
3
Anbring prøven i masken aligner , og placer masken med cirkulær bane ind i masken aligner over prøven . Expose prøven for ultraviolet lys i 2 sekunder.
4
Anbring prøven i S1813 -udvikler i 30 sekunder. Udvikleren fjerner de udsatte dele af prøven , der danner en cirkulær bane , at superledende materiale kan deponeres ind .
5.
Anbring prøven ind i fordamperen , og placere et par piller af Niobium til fordampning smeltedigel . Inddampes 100 nanometer af niobium . Fjern prøven fra fordampning kammer . Anbring prøven i acetone. Acetone fjerner alle dele af foto- modstå forlader superledende cirkulær bane . Prøven er færdig. Niobium er superledende under 9,3 Kelvin.
Hoteltilbud